德国Polytec MSA-600显微式激光测振仪

德国Polytec MSA-600显微式激光测振仪是集面外振动、面内振动、及表面形貌测量功能于一体的光学测量工作站。该款测振仪可实时测量，无需数据后处理。

德国Polytec MSA-600显微式激光测振仪产品简介：

德国Polytec MSA-600显微式激光测振仪是集面外振动、面内振动、及表面形貌测量功能于一体的光学测量工作站。系统具有高灵活性和精度，以满足显微结构未来的发展需要。显微式激光测振仪可提供准确的三维动态和静态响应数据，在降低开发和制造成本的同时提高产品性能，从而缩短设计周期，简化故障处理，提高产品产量。

德国Polytec MSA-600显微式激光测振仪产品特点：

集多功能于一体的光学测量工作站

实时测量，无需数据后处理

无法比拟的亚pm位移分辨率

测量速度快，振型可视化显示

操作界面直观友好

全自动化测量，易于集成至商用探针台上

德国Polytec MSA-600显微式激光测振仪典型应用：

微型结构的面外振动，测量单点振动或者两点间的相对振动：

如：梳齿驱动器、射频MEMS开关、FEM有限元模型验证、CMUT、PMUT超声换能器、MEMS薄膜压力传感器、PZT压电悬臂梁等

微型结构的面内振动：

如：梳齿驱动器、MEMS扭转激振器、压电陶瓷制动器的横向运动

微型结构的表面形貌：

如：梳齿驱动器、微型齿轮、微流量传感器、悬臂梁等表面形貌

德国Polytec MSA-600显微式激光测振仪技术参数：

1、均值是根据所在档位的*大频率fmax计算而来。

2、 镜头的具体技术参数请见后附表格。

3、隔振台上每个频率512次频闪次数的本底噪声。 

4、“光滑表面”：自相关相位评估。“粗糙表面”自相关谱包络线评估

5 、在阻尼振动温控条件下，对镀银、平行对齐平面镜的50次幅值的均方根值。

6 、稍倾斜平行板(λ/ 20)100次平整度测量结果的标准偏差

7、 平面度的平均值（遵循ISO 1101）

8 、30次阶跃高度测量的均方根偏差，校准的阶跃高度标称为50μm。

9、 在重复条件下，将30次连续测量值的标准不确定度与标称值偏差相加。组合标准不确定度是标称不确定度和测量结果的标准偏差的二次均方根值。