molbloc-L 层流元件,用于1sccm到100slm 流量的层流元件,整合了过滤器,可保护其免受污染。
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美国福禄克Fluke molbloc-L 层流元件产品简介:
molbloc-L 是与 molbox 质量流量终端结合使用的层流元件。
molbloc 流量路径位于 molbloc 内,是活塞与结合紧密的汽缸体之间的纵向环形间隙。
通过调整这个间隙的尺寸,可获得不同的 molbloc 量程。对于高流量量程(1E4 尺寸及以上),需要使用配有更大活塞的更大 molbloc 机体。
molbloc-L 量程
molbloc 尺寸由一些相对于标称流量阻抗的数字指定。
在 250 kPa 绝压 (36 psia) 上游压力和 50 kPa (7.5 psid) 压力差的情况下,当氮气流经 molbloc 时,标称阻抗可产生标称流量量程。
在实践中,molbloc 流量量程可能与标称流量量程差别很大。这些差别来自气体之间的密度和粘性之间的差别,也来自不同的 molbloc 工作压力校准选项。
美国福禄克Fluke molbloc-L 层流元件产品特点:
. 可与现有的 molbox1+ 和 molbox RFM 质量流量终端以及 COMPASS 软件结合使用
. 整合了过滤器,可保护其免受污染
. 完整的气体温度调节和测量
. 连续、实时的读数
. 可以实现全自动
. 无活动部件;
美国福禄克Fluke molbloc-L 层流元件技术参数:
技术指标 - 标准 molbloc-L 校准 - 与 molbox1+ 终端结合使用 | |
测量更新速率 | 1 秒 |
范围 | 从 0 到 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力 |
分辨率 | 0.0015 % FS |
线性 | ±0.05% 读数,从 10% 到 100% FS |
重复性 | ±0.05% 读数,从 10% 到 100% FS |
*确度1 | ±0.07% 读数,从 10% 到 100% FS |
稳定度2 | ±0.09% 读数,从 10% 到 100% FS |
测量不确定度3 | ±0.2% 读数,从 10% 到 100% FS |
(N2 和 molbox1+ 支持且 molbloc 校准时使用的任意气体) | 1E5 molbloc |
1 *确度:包含线性度、迟滞和可重复性。 |
技术指标 - 特级 molbloc-L 校准 - 与 molbox1+ 终端结合使用 | |
测量更新速率 | 1 秒 |
范围 | 从 0 到 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力 取决于校准类型(请参阅第 1.2.5.1.2 节) |
分辨率 | 0.0015 % FS |
线性 | ±0.05% 读数,从 10% 到 100% FS |
重复性 | ±0.05% 读数,从 10% 到 100% FS |
*确度1 | ±0.07% 读数,从 10% 到 100% FS |
稳定度2 | ±0.03% 读数,从 10% 到 100% FS |
测量不确定度3 | ±0.125% 读数,从 10% 到 100% FS |
(N2 和 molbox1+ 支持且 molbloc 校准时使用的任意气体) | 1E5 molbloc-L 特级校准不可用 |
1 *确度:包含线性度、迟滞和可重复性。 |
技术指标 - 标准 molbloc-L 校准 - 与 molbox RFM 终端结合使用 | |
molbloc-L(量程从 1E1-L 到 3E4-L) | |
测量更新速率 | 1 秒 |
范围 | 从 0 到 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力,取决于校准类型(请参阅 molbloc-L 量程表) |
分辨率 | 0.01% FS |
线性 | ±0.23% 读数,从 10% 到 100% FS;±0.023% FS,在 10% FS 以下 |
重复性 | ±0.1% 读数,从 10% 到 100% FS;±0.01% FS,在 10% FS 以下 |
*确度1 | ±0.25% 读数,从 10% 到 100% FS;±0.025% FS,在 10% FS 以下 |
预测的稳定度2 | ±0.15% 读数,从 10% 到 100% FS;±0.015% FS,在 10% FS 以下 |
测量不确定度3 | ±0.5% 读数,从 10% 到 100% FS;±0.05% FS,在 10% FS 以下 |
具有微量程选项的 molbox RFM | ||
molbloc-L(量程从 1E1-L 到 3E4-L) | molbloc-L(量程仅仅是 1E5) | |
测量更新速率 | 1 秒 | 1 秒 |
范围 | 从 0 到 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力,取决于校准类型(请参阅 molbloc-L 表) | 从 0 到 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力,取决于校准类型(请参阅 molbloc-L 表) |
分辨率 | 0.01 % FS,在 0.001 % FS 以下;0.001 % FS,在 10% FS 以下 | 0.01% FS |
线性 | ±0.23% 读数,从 1% 到 100% FS | ±0.25% 读数,从 5% 到 100% FS;±0.0125% FS,在 5% FS 以下 |
重复性 | ±0.1% 读数,从 1% 到 100% FS;±0.001% FS,在 1% FS 以下 | ±0.2% 读数,从 5% 到 100% FS;±0.01% FS,在 5% FS 以下 |
*确度1 | ±0.25% 读数,从 1% 到 100% FS;±0.0025% FS,在 1% FS 以下 | ±0.32% 读数,从 5% 到 100% FS;±0.016% FS,在 5% FS 以下 |
预测的稳定度2 | ±0.15% 读数,从 1% 到 100% FS;±0.0015% FS,在 1% FS 以下 | ±0.2% 读数,从 5% 到 100% FS;±0.01% FS,在 5% FS 以下 |
测量不确定度3 | ±0.5% 读数,从 1% 到 100% FS;±0.005% FS,在 1% FS 以下 | ±0.5% 读数,从 5% 到 100% FS;±0.025% FS,在 5% FS 以下 |