日本Horiba STEC SEC-E40MK3气体质量流量控制器主要用途为制程用的气体流量控制、根据关注于重复性以及限定气体的种类、流量进行大量生产、实现了大幅度的成本降低。适合于定流量、长时间的稳定控制重复控制的场合。而且也同样适用于研究所的简易流量控制。
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日本Horiba STEC SEC-E40MK3气体质量流量控制器主要用途为制程用的气体流量控制、根据关注于重复性以及限定气体的种类、流量进行大量生产、实现了大幅度的成本降低。适合于定流量、长时间的稳定控制重复控制的场合。而且也同样适用于研究所的简易流量控制。
日本Horiba STEC SEC-E40MK3气体质量流量控制器产品简介：
MARK3系列是在未改变质量流量控制器所须品质特性的条件下*底实现成本降低的量产产品。材质和泄漏規格则与一般型号产品的SEC-400、SEC-500系列完全一致。主要用途为制程用的气体流量控制、根据关注于重复性以及限定气体的种类、流量进行大量生产、实现了大幅度的成本降低。适合于定流量、长时间的稳定控制重复控制的场合。而且也同样适用于研究所的简易流量控制。
日本Horiba STEC SEC-E40MK3气体质量流量控制器产品特点：
高精度、流量设定后快速应答(1秒之内)。
具有自动调零功能。
日本Horiba STEC SEC-E40MK3气体质量流量控制器技术参数：
型号 | SEC- (质量流量控制器) | E40/E40MK3 | E50/E50MK3 |
SEF- (质量流量计) | E40 | E50 | |
适用气体种类*1 | 非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He) | ||
气体接触部材质 | SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢 | ||
阀门型号 | 非通电时关闭 | ||
标准流量量程 (N2相应F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM | |
流量控制范围 | 2?100% F.S. | ||
流量测量范围 | 0?100% F.S. | ||
响应速度 | 1秒以内(T98) | ||
流量精度 | ±1% F.S. | ||
直线性 | ±0.5% F.S. | ||
反复性 | ±0.2% F.S. | ||
工作差压值值 | 10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)?10?30 SLM:100?300kPa(d) | ||
使用压力 | 300kPa(G)以下 | ||
耐压 | 1MPa(G)以下 | ||
外部泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/s(He)以下 | ||
使用环境温度 | 5?50℃(精度的确保：15?35℃) | ||
流量设定信号 | 0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S. | ||
流量输出信号 | 0?5VDC(很小负荷电阻2kΩ) | ||
驱动电源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | ＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |
标准接头*2 | 1/4SWL 类型 | ||
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